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日立 热场式场发射扫描电镜SU5000
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日立 超高分辨肖特基场发射扫描电镜SU7000
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日立 TM系列专用能谱仪（EDS）AZtec系列
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日立 TM系列专用能谱仪（EDS） Quantax75
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日立 离子研磨仪ArBlade 5000
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日立 台式显微镜 TM4000II/TM4000PlusII
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日立 离子溅射仪 MC1000
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日立 高性能FIB-SEM系统 Ethos NX5000
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日立 CAD导航系统 故障分析导航系统 (NASFA)
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Verifire™ XL
大口径立式干涉仪
大口径、小占地面积 – Verifire XL 是一款一站式干涉仪工作站，可轻松测试直径达 300 mm 的平面光学元器件。
这款集成的系统易于使用，其重型倾斜平台可提供可重复的零件定位，而无需定制夹具。
占地面积小，内置隔振系统，并配有控制器显示器支架，只占用很小的车间地板空间。
独立的大口径工作站，用于测量直径达 12 英寸（300 mm）的平面光学表面面形，如镜子、窗片、半导体晶片、晶圆卡盘和密封平面。
主要特点
● 12 英寸（300 mm）口径，下视式立式设计，便于零件处理和对准
● 一站式的独立系统，包括干涉仪主机、被动隔振系统、测试件对准台和 1/15 波 PVr 透射平面镜（TF）
● 紧凑的尺寸，限度地减少了对宝贵地面空间的占用
● 集成的隔振和 QPSI™ 技术允许在生产环境中进行可靠的测量
