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产品特点：
1、分辨率高，低加速电压下实现高分辨成像
2、电磁复合物镜，减小像差，显著提高低电压下的分辨率，而且可观察磁性样品
3、高压隧道技术(SuperTunnel) ，在隧道中的电子能保持高能量，减少了空间电荷效应，低电压分辨率得到保证
4、电子光路无交叉，有效的降低系统像差，提升分辨能力
5、水冷恒温物镜，保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性
6、磁偏转六孔可调光阑，自动切换光阑孔，无需机械调节，实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换
产品参数：
| 关键参数 | 分辨率 | 1.0 nm @ 15 kV |
| 1.5 nm @ 1 kV | ||
| 加速电压 | 20 V ～ 30 kV | |
| 放大倍率 | 1 ～ 2,500,000 x | |
| 电子枪类型 | 高亮度肖特基场发射电子枪 | |
| 样品室 | 真空系统 | 全自动控制，无油真空系统 |
| 摄像头 | 双摄像头 （光学导航+样品仓内监控） | |
| 行程 | X: 115 mm，Y: 115 mm，Z: 65 mm，T: -10°～ +70°, R: 360° | |
| 探测器和扩展 | 行配 | 镜筒内高角度电子探测器 |
| 侧向低角度电子探测器 | ||
| 选配 | 平插式中角度背散射电子探测器 | |
| STEM自动伸缩式扫描透射探测器 | ||
| 样品交换仓 | ||
| 高速束闸和电子束曝光 | ||
| EDS能谱仪 | ||
| EBSD背散射衍射 | ||
| EBIC电子束感生电流 | ||
| CL阴极荧光 | ||
| 高低温原位拉伸台 | ||
| 纳米机械手 | ||
| 大图拼接 | ||
| 软件 | 语言 | 中午 |
| 操作系统 | Windows | |
| 导航 | 光学导体、手势快捷导航 | |
| 自动功能 | 自动亮度比对噻、自动聚焦、自动像散 |
