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日立 热场式场发射扫描电镜SU5000
面议日立 超高分辨肖特基场发射扫描电镜SU7000
面议日立 TM系列专用能谱仪(EDS)AZtec系列
面议日立 TM系列专用能谱仪(EDS) Quantax75
面议日立 离子研磨仪ArBlade 5000
面议日立 台式显微镜 TM4000II/TM4000PlusII
面议日立 离子溅射仪 MC1000
面议日立 离子研磨仪 IM4000II
面议日立 高精度实时三维分析FIB-SEM三束系统 NX9000
面议日立 FIB-SEM三束系统 NX2000
面议日立 高性能FIB-SEM系统 Ethos NX5000
面议日立 CAD导航系统 故障分析导航系统 (NASFA)
面议产品介绍:
“*的SEM更为紧凑”
宽幅仅为45 cm的紧凑型的设计,仍具备4.0 nm的图像分辨率。
全新开发的用户界面和电子光学系统让您深切体验其高性能。
产品特点:
FlexSEM 1000 II,凭借全新设计的电子光学系统和高灵敏度检测器,可在加速电压20 kV下实现4.0 nm的分辨率。全新开发的用户界面,具有亮度和对焦自动调节功能,可以在短时间内进行各种观察。此外,还搭载了全新的导航功能“SEM MAP”,这个功能可弥补电子显微镜上难以找准视野的缺点,实现最直观的视野移动。
1、尽管是可放置在桌面上的小巧紧凑型*1电子显微镜,仍可实现4.0 nm的分辨率
2、凭借的高灵敏度二次电子、背散射电子检测器、低真空检测器(UVD*2),可在低加速/低真空下观察时实现的画质
3、全新的用户界面,无论用户的熟练程度如何,都可实现高画质和高处理能力
4、全新的定位功能“SEM MAP”,支持观察时的视野搜索和样品定位
5、大直径(30毫米2)无氮EDS检测器,可快速进行元素分析*2
*1 设置到桌面上时,请将机体与电源盒分离
*2 选项
小型高性能色谱柱
尺寸虽小,却具备同类产品中的分辨率。
高画质
配备可优化放射电流的功能,以便在较低的加速电压下也能获得足够的亮度,而获得噪点小且清晰的图像。
可用高画质和快速观察
搭载GUI和自动调节功能,让初学者也能得心应手。只要按一下自动对焦(AFC)、自动亮度调节(ABCC)按钮,就可以获得的图像。(自动调节:与以往相比,缩短时间约13秒*3)当然,也可以通过触屏进行操作。
*3 对比日立SEM SU1510
全新定位系统“SEM MAP”
SEM MAP”功能可有效实现观察时的视野搜索和样品定位。根据内置摄像头所拍摄的图像,定位样品,一键点击即可移动到观察部位。
在SEM MAP上导入的图像会自动进行粘贴,并以分布图的形式显示。
可放置在桌面上的紧凑型电子显微镜
宽幅仅为45厘米,紧凑型设计,地减小占用空间。机体仅支持AC100 V 3P电源插座。此外,机体和电源盒可以分离,从而大幅度提升诸如桌面设置等的布局灵活性。
产品规格:
项目 | 内容 |
分辨率*3 | 4.0nm(二次电子像、加速电压:20kV、高真空模式) |
15.0nm(二次电子像、加速电压:1kV、高真空模式) | |
5.0nm(背散射电子像、加速电压:20kV、低真空模式) | |
加速电压 | 0.3kV~20kV |
倍率 | ×6~×300,000(照片倍率) |
×16~×800,000(显示器显示倍率) | |
低真空设置 | 6~100 Pa |
电子枪 | 集中灯箱(Pre-Centered Cartridge Filament) |
样品台 | 3轴马达驱动样品台 |
X:0~50 mm、Y:0~40 mm、Z:5~15 mm | |
T:-15~90°、R:360° | |
可观察范围:直径64mm(R联用)*4 | |
样品尺寸 | 直径80mm(选配:直径153mm) |
样品高度 | 40mm |
尺寸 | 机体:450(宽度)×640(进深)×690(高度)mm |
电源盒:450(宽度)×640(进深)×450(高度)mm | |
选项 | 高敏感度低真空检测器(UVD2.0) |
能量色散型X射线检测器(EDS) | |
软件 | Multi Zigzag(连续视野图像导入功能) |
* PC、桌子、监控器由客户准备
*3 机体和电源盒连接时候
*4 使用标准支架时
观察示例
半导体
焊线
材料
二硫化钨
FlexSEM 1000 II采用新型偏压系统,可在低加速电压下获得高放射电流。从而,在低加速电压下也能实现同类产品中的图像清晰度(S/N)。
生物