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日立 热场式场发射扫描电镜SU5000
面议日立 超高分辨肖特基场发射扫描电镜SU7000
面议日立 TM系列专用能谱仪(EDS)AZtec系列
面议日立 TM系列专用能谱仪(EDS) Quantax75
面议日立 离子研磨仪ArBlade 5000
面议日立 台式显微镜 TM4000II/TM4000PlusII
面议日立 离子溅射仪 MC1000
面议日立 离子研磨仪 IM4000II
面议日立 高精度实时三维分析FIB-SEM三束系统 NX9000
面议日立 FIB-SEM三束系统 NX2000
面议日立 高性能FIB-SEM系统 Ethos NX5000
面议日立 CAD导航系统 故障分析导航系统 (NASFA)
面议产品特点:
1、配备高亮度、长寿命的肖特基场发射电子枪
2、分辨率高,30kV下优于1nm的极限分辨率
3、三级磁透镜设计,束流可调范围大,支持200nA的分析束流
4、*低真空模式,以及高性能的低真空二次电子探测器,可观察导电性弱或不导电样品
5、无漏磁物镜设计,可直接观察磁性样品
6、标配的光学导航模式,中文操作软件,让分析工作更轻松
应用案例:
产品参数:
关键参数 | 分辨率 | 1 nm @ 30 kV,SE |
0.9 nm @ 30 kV, STEM | ||
加速电压 | 200 V ~ 30 kV | |
放大倍率 | 1 ~ 1,000,000 x | |
电子枪类型 | 肖基特场发射电子枪 | |
样品室 | 真空系统 | 全自动控制 |
低真空模式(选配) | 180Pa | |
摄像头 | 双摄像头(光学导航+样品仓内监控) | |
行程 | X:120 mm | |
Y:115 mm | ||
Z:50 mm | ||
T: -10°~ +90° | ||
R: 360° | ||
探测器和扩展 | 标配 | 侧向低角度电子探测器 |
选配 | 低真空二次电子探测器 | |
背散射电子探测器 | ||
STEM自动插入式扫描透射探测器 | ||
样品交换仓 | ||
EDS能谱仪 | ||
EBSD背散射衍射 | ||
EBIC电子束感生电流 | ||
CL阴极荧光 | ||
高低温原位拉伸台 | ||
纳米机械手 | ||
大图拼接 | ||
轨迹球&旋钮控制板 | ||
软件 | 语言 | 中文 |
操作系统 | Windows | |
导航 | 光学导航、手势快捷导航 | |
自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |