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日立 热场式场发射扫描电镜SU5000
面议日立 超高分辨肖特基场发射扫描电镜SU7000
面议日立 TM系列专用能谱仪(EDS)AZtec系列
面议日立 TM系列专用能谱仪(EDS) Quantax75
面议日立 离子研磨仪ArBlade 5000
面议日立 离子溅射仪 MC1000
面议日立 离子研磨仪 IM4000II
面议日立 高精度实时三维分析FIB-SEM三束系统 NX9000
面议日立 FIB-SEM三束系统 NX2000
面议日立 高性能FIB-SEM系统 Ethos NX5000
面议日立 CAD导航系统 故障分析导航系统 (NASFA)
面议日立 高性能聚焦离子束系统 MI4050
面议产品介绍:
台式扫描电子显微镜(SEM)全新升级。
我们以“更高画质、更易于使用、更易于观察”为理念,开发出TM4000系列。在此基础上,我们又推出功能更为多样的TM4000Ⅱ系列。
为您提供全新的观察和分析应用。
产品特点:
观察与分析的灵活性
自动获取各类数据。快速切换!
可快速获得元素分布图*2
Camera Navi图像让您轻松找到视野,分布图(MAP)功能全程支持您的观察
观察图像只需 3 分钟。
可快速观察图像,并导出测试报告。
Report Creator可让您轻松制作报告
只需选择图像和模板,就可以制作Microsoft Word、Excel、PowerPoint格式的报告
即便是绝缘物样品,也无需预处理,就可直接进行观察。
“静电减轻模式”可抑制静电现象
对于容易产生静电的样品,可使用“静电减轻模式”,在抑制静电的状态下进行观察。
只需用鼠标在软件上点击即可切换到“静电减轻模式”。
可在低真空的条件下进行多种观察
对于容易产生静电的粉末或含水等样品,可结合其目的进行观察。
可在低真空的条件下进行二次电子像(表面形状)观察。
无需预处理,也可以观察绝缘物和含水、含油样品的表面
不仅是观察传统的导电性样品,还可以在无预处理的条件下观察绝缘物和含水、含油样品。可快速进行二次电子像与背散射电子像之间的切换。
高感度低真空二次电子检测器
采用高感度低真空二次电子检测器(UVD)。通过检测由于电子线与残留气体分子之间的碰撞而产生的光,可以观察带有二次电子信息的图像。此外,通过控制该检测器,来检测电子照射所产生的光,可以获得CL信息(UVD-CL:带有CL信息的图像)。
可支持加速电压20 kV
TM4000Ⅱ/TM4000Plus II可支持加速电压20 kV。
凭借EDS分析(选配),可进行更高计数率解析。
通过加速电压20 kV,实现EDS元素分布图的高S/N化
Multi Zigzag(选配)
可实现在广域范围内进行SEM观察。
搭配自动马达台,可实现低倍率,高精度,大范围的观察分析。
EM 样品台(选配)
可轻松观察 STEM 图像
与全新开发的 STEM 样品台和高灵敏度低真空二次电子检测器(UVD)配合使用,可轻松观察小倍率 STEM 图像。
可轻松观察薄膜样品和生物样品。
产品规格:
项目 | TM4000PlusII | TM4000II |
倍率 | ×10~×100,000(照片倍率) | |
×25~×250,000(显示器倍率) | ||
加速电压 | 5 kV、10 kV、15 kV、20 kV | |
图像信号 | 背散射电子 | 背散射电子 |
二次电子 | ||
复合图像(背散射电子+二次电子) | ||
真空模式 | 导电体(仅背散射电子) | 标准 静电减轻 |
标准 | ||
静电减轻 | ||
样品可移动范围 | X:40 mm Y:35 mm | |
样品尺寸: | 80 mm(直径) 50 mm(厚度) | |
电子枪 | 集中灯箱(Pre-Centered Catridge Filament) | |
检测器 | 背散射电子:高感度4分割 背散电子检测器 | 背散射电子:高感度4分割 背散射电子检测器 |
二次电子:高感度低真空 二次电子检测器 | ||
排气系统(真空泵) | 涡轮分子泵:67 L/s 1台 | |
隔膜泵:20 L/min | ||
尺寸与重量 | 主体:330(宽度)×614(进深)×547(高度) mm、54 kg(附带马达驱动的样品台) | |
主体:330(宽度)×617(进深)×547(高度) mm、54 kg(附带手动样品台) | ||
隔膜泵:144(宽度)×270(进深)×216(高度) mm |