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真空清洗机-等离子表面处理机作为一种微观固体表面的处理设设备，是一种全新的表面处理方案。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性"组分包括：离子、电子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁等目的。
真空清洗机-等离子表面处理机主要应用于半导体、镀膜工艺、PCB制程、PCB制程、元器件封装前、COG前、真空电子、连接器和继电器等行业的精密清洗，塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以及生命科学实验等。
内置高纯石英仓体，采用了新型的电极结构设计和固态电源技术，使其有效容积增大，不同真空 气体环境下容易匹配，且控制频率稳定。真空仓门有观察窗，可直观物体的处理过程，其射频电源与控制都组装在一个机箱内，即减少了空间的占用，更便于操作和放置，同时与大型清洗机相比较，从检测功能与控制功能的设置上均可一个面板上操作，特别适用科学实验 样品清洗 和教学。
设备型号 | KT-Z2DQX | KT-S2DQX | KT-Z5DQX |
控制方式 | 7寸触摸屏人机界面 | 7寸触摸屏人机界面 | 7寸触摸屏人机界面 |
供电电源 | AC220V（AC110V可选) | ||
工作电流 | 整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵) | ||
射频电源功率 | 1000W | 150W | 300W |
匹配方式 | 自动匹配 | 手动匹配 | 自动匹配 |
清洗频率 | 40KHz | 13.56MHz | |
耦合方式 | 电容耦合 | ||
工作真空 | ≤50Pa | ||
腔体材质 | 高纯石英 | ||
腔体容积 | 2L(内径110MMX深度220MM) | 2L(内径110MMX深度220MM) | 5L(内径160MMX深度310MM) |
观察窗内径 | Φ50 | Φ50 | Φ70 |
气体流量 | 0-300ml/min（热式质量流量传感器X2个） | ||
真空计量程 | 1E5Pa至1E-1Pa（皮拉尼真空计） | ||
过程控制 | 手动/自动切换 | 手动/自动切换 | 手动/自动切换 |
清洗时间 | 自动开关 | ||
开盖方式 | 铰链侧开式法兰 | ||
外形尺寸 | 150*500*250mm | 450*460*370mm | 530*580*420mm |
重量 | 20kg | 35kg | 40kg |
真空室温度 | 小于65°C | ||
冷却方式 | 强制风冷 | ||
标配 | KF16真空管1米，kf16卡箍2个，不锈钢网匣1个，电源线一根，说明书一本。 | ||
