半导体、晶圆、硅片外延部件单片清洗机
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半导体、晶圆、硅片外延部件单片清洗机

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2024-10-21 13:13:54
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菏泽力芯电子科技有限公司

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产品简介

半导体、晶圆、硅片外延部件单片清洗机一款用于半导体制造过程中的EPI(Epitaxial)外延部件清洗的设备,主要用于在晶圆上进行薄膜沉积的预镀工艺

详细介绍

菏泽力芯电子科技有限公司设计生产 半导体清洗设备、CDS系统、电化学镀设备各种石英存储柜、阀箱、花篮、阀门、泵、接头PFA焊接机等。

半导体清洗设备:包含手动/自动/半自动槽式清洗机、全自动去胶机、自动混酸蚀刻机、单片清洗机等等 ,可根据客户需求定制产品


外延部件清洗这是一款用于半导体制造过程中的EPI(Epitaxial)外延部件清洗的设备,主要用于在晶圆上进行薄膜沉积的预镀工艺。随着半导体行业的快速发展,对EPI外延清洗机的需求也在不断增长。市场上存在多种类型的EPI外延清洗机,以满足不同工艺需求。大家可以选择适合自己的,当然也欢迎咨询,为你需求量身定做。

 

技术特点:

 

现代EPI外延清洗机通常采用高度自动化的设计,能够实现精确控制和远程监控,提高操作效率和安全性。同时,该设备设计有排风系统和漏液检测系统,便于维护,提高了设备的安全性和可靠性。

 

应用领域:

 

EPI外延清洗机广泛应用于半导体制造领域,特别是在晶圆级预烧、磁性退火、黏晶固化、稳定性测试、热冲击处理等工艺中,对EPI外延部件的清洗要求很高。

 


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