卧式石英舟清洗机-菏泽力芯电子科技有限公司手机版

详细介绍

菏泽力芯电子科技有限公司设计生产半导体清洗设备、CDS系统、电化学镀设备各种石英存储柜、阀箱、花篮、阀门、泵、接头PFA焊接机等。

半导体清洗设备：包含手动/自动/半自动槽式清洗机、全自动去胶机、自动混酸蚀刻机、单片清洗机等等，可根据客户需求定制产品

卧式石英舟清洗机是专为半导体制造过程中的石英舟和石英管设计的清洗设备。它通过使用去离子水（DIW）、酸液等药液，对8寸/12寸等多种尺寸的石英舟/石英管进行高效清洗。

该设备利用机械手带动花篮进行水平和升降运动，使石英舟在超纯水工艺槽和化学工艺槽内进行振动清洗。同时，通过管路系统对废液进行分类排放及回收，减少了废液处理过程中的浪费，节省了回收成本。

技术特点：

自动补液功能，通过液位传感器控制，确保清洗液的稳定供应。

药液循环过滤，保持清洗液的清洁度，提高清洗效果。

炉管滚动，使石英舟在清洗过程中均匀受力，避免局部残留。

独立取样口，方便对清洗效果进行实时监控。