RCA清洗机半导体清洗设备可定制
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2024-10-19 14:55:31
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菏泽力芯电子科技有限公司

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产品简介

RCA半导体清洗机清洗工艺可以有效去除晶圆、硅片、半导体表面的细微颗粒物、金属残留、光刻胶残留物等问题。

详细介绍

RCA清洗机半导体清洗设备可定制

公司设计生产 半导体清洗设备、CDS系统、电化学镀设备各种石英存储柜、阀箱、花篮、阀门、泵、接头PFA焊接机等。

半导体清洗设备:包含手动/自动/半自动槽式清洗机、全自动去胶机、自动混酸蚀刻机、单片清洗机等等 ,可根据客户需求定制产品。

1、机台采用进口劳士领板材,长期可工作在酸腐蚀环境,坚固耐用,双层防痛。

2、对芯片表面有机和无机物的有效处理工艺设备,可清洗4“5”6“硅片。

3、可设计手动全自动运行设计,全自动运行方式采用两只机械手运行,更有效提高效率降低成本。

4、清洗能力:4~6寸圆片,252/

5、全方面的警报提示功能,防呆设计功能。

6、各工艺槽模组化设计,腐蚀槽、纯水冲洗槽放置在一个统一的承漏底盘中。

7、工艺槽可设计提动动作,清洗更快更干净。

8、控制部分采用进口品牌PLC HMI.

9、机台前部配备有PTFE纯水枪和PTFE充满氨气的枪各1只置于右侧,10、设备设计标准按半导体行业标准(SEMI-S2-93)执行,1809001质量管理体系进行规范和保证。



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