应用领域
立式炉管清洗机广泛应用于半导体制造领域，特别是在晶圆级预烧、磁性退火、黏晶固化、稳定性测试、热冲击处理等工艺中，对炉管的清洗要求很高。
力芯电子科技 品牌
生产厂家厂商性质
菏泽市所在地
我司设计生产 半导体清洗设备、CDS系统、电化学镀设备各种石英存储柜、阀箱、花篮、阀门、泵、接头PFA焊接机等。
半导体清洗设备：包含手动/自动/半自动槽式清洗机、全自动去胶机、自动混酸蚀刻机、单片清洗机等等 ，可根据客户需求定制产品。
立式炉管清洗机专为半导体晶圆行业湿法制程设计，通过使用DIW（去离子水）喷淋方式，对炉管进行高效清洗。该设备适用于手动清洗机台，能够有效去除0.2um以上的particle，且去除率至少达到95%
现代立式炉管清洗机通常采用旋转+喷淋的清洗方式，结合PLC控制和软件多重互锁，确保了清洗过程的稳定性和高效性。同时，该设备设计有排风系统和漏液检测系统，便于维护，提高了设备的安全性和可靠性。
应用领域
立式炉管清洗机广泛应用于半导体制造领域，特别是在晶圆级预烧、磁性退火、黏晶固化、稳定性测试、热冲击处理等工艺中，对炉管的清洗要求很高。