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武汉市所在地
产品应用
• 设备用于Lidar应用激光器芯片、工业级高功率激光器,医疗与显示等高功率激光器芯片领域
产品特点
• 支持多种主流规格料盒,全自动上下料,避免转料或人工操作对巴条chip造成的报废
• 支持BAR条自动上料、首颗chip识别定位,支持ID识别、自动测试、自动判断BAR条测试结束、自动下料
• 吸嘴、探针与BAR条接触压力可调
• 自制4探针结构,支持四线制电压测试,电流加电回路低电感设计,支持ns级窄脉冲输出,2个针P极,2个针N极;探针结构支持探针下压力可控调节、支持压力检测
• 集成自主开发的大电流30A、窄脉冲100ns测试仪表,支持BAR条LIV、光谱、远场测试
• 典型LIV测试曲线
• 支持MAP图绘制,方便用户对wafer的性能分布情况分析
• 支持NG Chip打点标记,支持简单的芯片外观检查
• 支持常温、高温测试
• 多维度可调测量结构,满足用户对不同规格巴条测量需求
参 数 | 指 标 |
适用巴条尺寸 | 长度:15~30mm 宽度:1~3mm,其他BAR条宽度可定制测试台 |
脉冲电流输出 | 范围0~30A,精度0.5%rdg±200mA |
脉冲特性 | 最小脉宽:100ns,占空比:0.1% |
脉冲电压测量 | 范围0~40V,精度0.5%rdg±200mV 四线制,峰值检测 |
脉冲电流测量 | 范围0~30A,精度0.5%rdg±200mA,峰值检测 |
光功率测量 | 等效光电流检测量程和精度: 范围0~5mA,0.5%rdg±25uA,峰值检测 基础配置支持100W输入光功率,不同功率范围可配置不同的衰减片,支持定制 |
远场发散角测试 | 范围±45° |
测试效率 (典型值)[1] | 单颗chip单温度测试时间: LIV+光谱(1个电流点)+ID识别+机械运动总时间<9s(不包含上下料运动时间) |
波长范围 | 默认PD:800-1700 nm,短波长可选配400-1100的PD |
高温台温控范围 | 室温+15~85℃,精度<±1℃ |
工作台温度串扰 | 高温台@85℃,常温台相对室温不高于3℃ |
常温台温控范围 | 25~50℃,精度±1℃ |
设备尺寸 | 含信号灯及显示器,1250mm×1070mm×1900mm(L×W×H) |
气源要求 | 正压:不低于0.4MPa 负压:如有,不高于-80KPa |