窄脉冲激光雷达晶圆测试机-武汉普赛斯电子股份有限公司手机版

产品应用

• 3D传感、激光雷达、大功率激光等应用的VCSEL芯片测试
• 大功率面发射芯片的验证测试

产品特点

• 集成自制超窄脉冲 SMU、最小脉冲到 100ns，电流 30A

• 积分球同步收光，支持短脉冲 LIV 测试和光谱测试

• 开发探针，电感系数小，支持窄脉冲大电流(最小脉冲100ns,电流30A)测试，双探针四线法测试，探针压力可调；探针电动滑台控制，实现可寻址测试和多通道测试

• 支持晶圆位置识别和自动调整
• 测试载台采用高导热材料，TEC温控，温度范围可支持25~85°C
• 支持快速光谱测试
• 支持NF均匀性与坏点检测及M2因子，束腰

• 支持FF测试发散角测试

• 软件支持精确定位图、坐标数据生成，数据库自动存储数据及图片

参数	指标
适合Wafer尺寸	2寸、4寸和6寸
芯片加电方式	支持同面和异面类型的VCSEL加电
脉冲电流输出	范围0-30A，精度0.5%rdg±250mA，最小脉宽100ns，Duty cycle:大于等于1A电流为<0.1%, 小于1A电流为<50%
电压测量	范围0-40V，精度0.5%rdg±250mV
功率测试	采用积分球收光，范围0-200W，精度0.5% FS±10mW
波长范围	400-1100 nm，其他波长支持定制
输出特性曲线	(1)LIV特性曲线 (2) 光谱曲线
LIV测试参数	Ith，V，Ir，SE，Rs，P，PCE，Wavelength，FWHM等
近场测试参数	发光孔数，暗坏点、一致性，另可定制M2、孔发散角、束腰测试功能
远场测试参数	发散角(1/e²，D86,D50)、DIP
光谱参数	λｐ峰值波長
可寻址功能	探针电动滑台控制，实现可寻址测试。
激光测距	激光测距用于对Chuck和晶圆进行测高找平，精度≤1um。
测试台温控范围	25～85℃，稳定性<±1℃
设备尺寸	不含信号灯及显示器，1250mm(深)×1100mm(宽)×1750mm(高)
气源要求	正压：无负压：≦-80KPa
电源	AC 220V/16A 50Hz

产品简介