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非接触式膜厚测量仪 EA-160
产品描述:
◆高速度、高精度测量系统
◆160mm×160mm范围测量
◆透明材质穿透测量
◆测量膜厚、线宽、平面度等
◆多程序自由切换，方便灵活
技术：
◆采用白光共焦技术，分辨率达到5nm，量程13mm
◆0-160mm运动精度达到微米级，X、Y方向无机械接触，采用全闭环反馈系统，实现高精度测量
◆高精度、高分辨率CCD系统，结合effecttek软体算法，支持影像定位辅助系统
应用：
◆厚膜电路测量
◆晶圆涂胶测量
◆LTCC膜厚、线宽测量
◆MEMS测量
◆透明材质测量
◆太阳能面板测量
设备技术参数:
项 目 | 技术参数 |
外观尺寸 | 950mm*650mm*500mm |
X、Y测量行程 | 160mm*160mm |
Z轴可调行程 | 50mm |
有效测量范围 | 130mm*130mm |
扫描最小步距 | 1um |
扫描速度 | 30mm/s |
测试重复精度 | 20nm(标样) |
电 源 | AC220V±10%,50-60 Hz |
