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3D轮廓测量设备ES-450
技术规格 | ES-450 |
外观尺寸 | 1700mm*1400mm*1900 mm |
X.Y测量行程 | 450mm*450mm |
Z轴可调行程 | 50mm |
有效测量范围 | 450mm*450mm |
扫描最少步距 | 1μm |
扫描速度 | 10mm/S |
检测重复程度 | ≤0.2μm |
电 源 | AC220V±10% |
重 量 | 1500kg |
噪 音 | 70db |
工作环境 | AC220V±10% |
功能描述:
◆ 3D形貌
◆ 台阶高
◆ 粗糙度
◆ MEMS形貌
◆ TSV
◆ 光刻胶厚度
◆ 刻蚀图形
◆ Bump
◆ 金球
◆ 铜柱