型号：Ｍ+-SM300×300
喷雾式涂布机主要用于开发研究和各种半导体器件（MEMS）和微机械。对应于超厚膜涂层，它是很难通过常规的旋涂机微粒的化学溶液，以使通过的特殊定制的喷雾喷嘴水平薄涂层。被涂覆的部分上，可以形成均匀的膜是困难的，在传统的离心器，如在基板上的倾斜表面和梯形槽顶点。我们还支持基板贯通孔用于固定样品的未经使用的真空抽吸。

、特点：                            

药液物也可以均匀地涂布在倾斜等不平表面上的槽基板。                

支持苯并环丁烯（BCB），各种聚合物等（需要稀释液）。                

对应于各种大小、形状，还可以通过交换在样品台上的样品。

比传统的喷涂装置的成本低，易于操作。
工作台面为了便于清洗的可拆卸顶板。

二、产品规格：固定式和移动式喷涂机喷涂的样本格式                      

手动上下取片

PLC控制半自动操作控制

喷雾干燥的空气和喷雾化学泵送系统

工作台平面可旋转

喷雾喷嘴高度范围为80〜150毫米（从样品台表面）

范围约400毫米的直线运动（全行程的直线运动）    

清洁干燥的空气：5KG / C㎡（φ6mm气动管连接口）

电源：AC220V 1800W

排风：φ100mm圆片分钟连接管道直径为100升/排气

重量： 150kg以下重量
外形尺寸：1300×800×800毫米的机身（H×W×D）

三、小孔圆片chcuk固定方式