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旋转涂覆技术所使用的设备是匀胶机。匀胶机有很多种称谓，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，
又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、
旋转涂膜仪、匀膜机，总的来说，他们原理都是一样的，即在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，
利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，
也和旋转速度及时间有关
匀胶机技术指标：
1.主轴转速： 200～8000RPM，精度±1RPM，转速可调。
2.主轴加速度： 30000RPM/S，连续可调（只对涂胶）
3.工艺工步时间： 0～999.9秒，设定增量±0.1秒
4.电源条件： AC220V±10％，50Hz，总功率1.5KW
5.真空条件： 真空度≤-0.085Mpa，
