装置将 13.560MHz 射频源加至反应室外的电感线圈 , 用电感耦合方式激励气体 , 使其放电产生等离子体 . 这种方式具有放电效率高、无电极放电污染的特点 , 并可以获得纯净的等离子体 . 装置适合大学物理、材料、化学等领域科学研究之用。

实验内容

1、等离子体消毒灭菌实验 , 如大肠杆菌 (8099)、 (ATCC6538)；

2、等离子体材料表面改性实验 , 如纸张亲水性、纸张接触角；

3、等离子体材料表面清洗实验；

4、等离子体聚合实验。

主要技术参数

1、等离子体腔体体积：φ140mm×（H）155mm；

2、射频功率： 0 ～ 500W；频率：13.560MH Z ；

3、工作气压： 20 ～ 200Pa（建议工作在 100 Pa 以下）；

4、反应腔本底真空： ≤ 5Pa；

5、反应腔极限真空： 1×10 -1 Pa；

6、等离子体电子温度： 1 ～ 8Ev；

7、流量控制器： 0 ～ 1000sccm；

8、工作电压： AC220V±5% 50Hz；

9、整机功率： ≤ 1.5KW；

10、整机重量： 约 100Kg；

11、外形尺寸： 长 650× 宽 610× 高 1000mm。