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真空蒸发镀膜与手套箱联合系统的用户群体为科研院所及实验室，将真空蒸发系统工作室置于 Glove box 无水、无氧、无尘的超纯环境中，PVD 与 Glove box（手套箱）硬件无缝对接，操控融合一体，广泛应用于 OPV（有机光伏电池）、OLED（有机发光二极管）、PLED（高分子发光二极管）等研究领域。
主要用途和适用范围
本系统由真空镀膜系统和手套箱系统集成而成，可在高真空蒸镀腔室中完成薄膜蒸镀，并在手套箱高纯惰性气体氛围下进行样品的存放、制备以及蒸镀后样品的检测。主要用于太阳能电池钙钛矿、OLED 和 PLED、半导体制备等实验研究与应用。
手套箱蒸镀 / 溅射一体机设备技术参数
