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项次 | 内容 | 规格 |
1 | 电源 | AC380V 3φ 50HZ 30KVA |
2 | 机台外尺寸 | W1672*L2807*H1693+100mm |
3 | 有效曝光面积 | L610mm*W915mm(18"*24"2片) |
4 | 曝光台面 | MYLAR VS 玻璃*2组,採电磁锁控制 |
5 | 灯管 | 8KW*2PCS(金属卤素灯) |
6 | 曝光均匀度 | 85%以上 |
7 | 冷却系统 | 灯管:循环间接水冷式(水套式) |
台面:强制气冷式 | ||
8 | 曝光控制器 | 智慧型人机介面及曝光能量控制 |
9 | 真空系统 | -700mm/Hg以上 |
10 | 客户提供使用环境及周边设备 | (1).室温20℃±5℃,湿度55%±5%之清洁环境 |
(2).冷却水塔:10吨、流量120L/min、进水温度30℃(依现场配管计算)或冰水系统:5吨、流量50L/min、进水温度7℃~15℃(依现场配管计算)进出水管径1-1/4"、排水管径3/4" | ||
(3).内部循环水:蒸馏水60L | ||
(4).外接气源:5Kgf/cm²洁净干燥空气流量(40~80L/min)管径1/4"PT快速接头 | ||
11 | 特点 | (1).LCD智慧型中(英)文能量强度显示,高频率取样控制系统 |
(2).曝光台面採电磁锁控制方式,方便精准。 | ||
(3).上、下框/灯,均可独立能量设定。 | ||
(4).中(英)文版故障异常检知显示系统,方便操作使用。 | ||
(5).可控制进水量大小,避免冬夏季及使用冰水机产生问题 | ||
(6).採6HP涡捲式压缩机,节省能源功率大 |