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| 内容 | 规格 | |
| A.一般规格 | ||
| 曝光系统 | 光源：Hg-Xe短弧灯，输出功率5KW，双灯 | |
| 平行半角（CHA）：2° 倾斜角（DA）：2° | ||
| 均匀度：≥85%（min/max） 强度：20mw/cm²（玻璃上） | ||
| 有效曝光面积：546*622mm | ||
| Panel规格 | 尺寸：254*304.8mm至558.8*635mm(10''*12"至22"*25") | |
| 厚度：0.05mm(不含铜)至2.0mm | ||
| 玻璃尺寸 | 上：L800*W718*8t 下：L709*W621*8t | |
| PCB靠操作面中间对位 | ||
| 曝光作业 | 双面曝光/内层板用底片CCD自动对位系统，每片确认。对准精度±10um | |
| 底片尺寸 | 24"*27" Cycle Time:机械动作12秒+吸真空延迟+曝光时间 | |
| 密合模式 | 真空密合，真空度-300~-500mmHg(附表显示) | |
| 操作方式 | 操作系统：PC系统+PLC+人机界面 | |
| 机台尺寸 | 外部尺寸：L 2900mm*W 2430mm*H 2190mm | |
| 输送面高度：1120mm+30mm | ||
| 公用系统 | 电力：AC380V 3φ 50Hz 60A 13KVA | |
| 气压源：>6Kg/cm2 | ||
| B.系统架构 | ||
| Panel传送系统 | 进出料传动：滚轮带动 | |
| 薄板专用机构：进出料Roller间加入支撑板 | ||
| 进料定位：二段式靠边定位，前缘利用滚轮慢速传动定位 | ||
| 曝光室进出移载：以伺服马达带动移载机 | ||
| 移载机取置：气缸带动取置架上下，真空吸盘移载机装置气缸 | ||
| 带动取置架上下，真空吸盘组依板宽手动调整 | ||
| 曝光台框 | 玻璃对玻璃方式采用高UV透光率玻璃 | |
| 上台框由伺服马达带动开关，上下框间由四支定位销定位 | ||
| 底片吸附在台面真空槽，PCB以下台框真空吸附 | ||
| 静电消除 | 于进料段装置上下静电消除棒 | |
| 冷却 | 灯室冷却：气冷（内循环） | |
| 曝光室冷却：气冷，抽取室内空气经HEPA吹入曝光室 | ||
| 洁净控制 | 客户洁净室等级需求：Class 10000 | |
| 机台使用99.97%~99.99%HEPA Filter | ||
| UV光源监控 | ||
| 遮光器：水平移动，装置在灯室外，由气缸带动 | ||
| 曝光计算：内建UV能量积算器，可依能量或时间曝光 | ||
| 对位方式 | 4靶标CCD影像对位 | |
| 底片固定 | 台面玻璃 沟槽吸真空 | |
| 调整机构 | 微步进马达驱动上台框微调机构 | |
| 控制方式 | 自动对位及触控式荧幕PC+PLC | |
| 视觉光源 | LED式CCD背光组 | |
| 底片对位精度 | ±10μm内(不含涨缩) | |
| 备注 | 外观采SUS材质 | |
