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| 内容 | 规格 | |
| A.一般规格 | ||
| 电力系统 | AC380V 3φ 50/60HZ | |
| 平行光系统 | 光源：Hg-Xe短弧灯，输出功率5KW,单灯，双面曝光 | |
| 平行半角（CHA）约2° | ||
| 倾斜角（DA）：<2° | ||
| 均匀度：85%以上 | ||
| 强度：15mw/cm²@ 365 nm在玻璃台面上量测 | ||
| 有效曝光面积：22'*25" | ||
| 底片规格 | 尺寸：24"*27" | |
| Panel规格 | 尺寸：305*305mm至559*635mm(12"*12"至22"*25") | |
| 厚度：0.05mm(不含铜)至2mm | ||
| 曝光作业 | 高强度/双面曝光 | |
| 对位系统 | 1.CCD数量：2个/4个可选 | |
| 2.对位方式：上下底片手动对位，CCD自动检测 | ||
| 3.对准精度：±12.5μm(不含底片涨缩) | ||
| 4.底片固定：双沟槽式真空吸附 | ||
| 曝光量设定 | 可程式时间设定曝光；可程式能量设定曝光 | |
| 操作方式 | 操作系统：大型触控制式荧幕操作介面 | |
| 机台尺寸 | 外部尺寸：3390L*1545W*2150+120Hmm 环控箱：L1300*W700*H1930 | |
| B.系统架构 | ||
| 曝光台框 | 双曝光台面，玻璃VS玻璃 | |
| 冷却 | 曝光室：气冷，抽取室内空气加温度控制经HEPA吹入曝光室 | |
| 灯室：气冷（内循环） | ||
| 洁净控制 | 洁净度等级：Class 1000 HEPA 过滤网 | |
| UV光源监控 | ||
| 光源保护：UV灯源点灯/熄灯/重点灯保护 | ||
| 功率控制：D/A转换瓦数微调输出 状态监视：内建电压、电流、功率及UV强度感测器 | ||
| 遮光器：横向开启，装置于灯室 内，由无桿缸带动 | ||
| 曝光监控：内建UV能量积算器 | ||
| 客户周边配合 | 1.电力NFB40A | |
| 2.气压源：5kg/cm²以上 3.冰水系统：7-11℃ 40L／min,1"管径*2,1/2" 管径*1 | ||
| 备注 | 1.不锈钢外壳 2.气动遮光门 | |
