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| 内容 | 规格 | |
| A.一般规格 | ||
| 电力系统 | AC380V 3φ 50/60HZ 75A 22KVA | |
| 光源系统 | 光源：间接水冷式金属卤素灯，10KW | |
| 均匀度：≥85% 有效曝光面积：22"*25" | ||
| 照度：65mw/cm²以上 | ||
| Panel规格 | 尺寸：12"*14"至22"*25" | |
| 底片尺寸：24"*28"(610mm*711mm) | ||
| 厚度：0.2mm至3.0mm | ||
| 曝光作业 | 单面双框作业，顺序进入曝光室 | |
| 底片对位系统 | 1.CCD数量：4个 | |
| 2.CCD功能：对位准度及底片涨缩检查 | ||
| 3.对位形式：PCB自动对位 | ||
| 4.底片固定：双沟槽式真空吸附，真空度-680mmHg以上 | ||
| 5.靶标形式：上底片圆点，PC板PAD | ||
| 6.制程固定：Pin定位 | ||
| 7.制程板对位：自动对位±12.5μm(机台能力) | ||
| 操作方式 | 作业方式：人工取放板 | |
| 机台尺寸 | 外部尺寸：W1545*D3312*H2372mm | |
| 外部变电箱尺寸：W810*D830*H980mm | ||
| B.系统架构 | ||
| 曝光台框 | 双曝光台面，玻璃VS金属 | |
| 曝光控制器 | 智慧型人机介面及曝光能量控制 | |
| 台面真空 | -200~-400mmHg | |
| 冷却 | ||
| 灯室：循环间接水冷式（水套式） | ||
| 曝光室：强制气冷式，抽取室内空气经HEPA吹入曝光室 | ||
| 洁净控制 | 洁净度等级：Class 1000 HEPA过滤网 | |
| 客户提供环境及周边设备 | （1）.室温22℃±2℃,湿度55%±5%之清洁环境 | |
| （2）.冷却水塔：10吨、流量120L/min、进水温度20~30℃（依现场配管计算)或 | ||
| 冰水系统：5吨、流量60L/min、进水温度7~11℃（依现场配管计算) 进出水管径1-1/4"、排水管3/4" | ||
| (3).内部循环水：蒸馏水60L | ||
| （4）.外接气源：6Kgf/cm²（流量60~120L/min）管径φ10快速接头 | ||
