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所在地
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| MPT-1AN/RL050 | MPT-1AN/RL100 | MPT-1AN/RL200 | |
| 运动自由度 | X | X | X |
| 行程范围 (μm±10%) | 50 | 100 | 200 |
| 位移分辨率 (nm) | 5 | 10 | 20 |
重复定位精度 | -/50 | -/100 | -/200 |
| 运动方向推力 (N) | 300 | 300 | 300 |
| 运动方向拉力 (N) | 50 | 50 | 50 |
| 负载 (Kg) | 1.5 | 1.5 | 1 |
| 固有频率 (Hz) | 600 | 300 | 150 |
| 重量 (g±5%) | 600 | 850 | 1100 |
| 工作电压 (V) | 0～150 | 0～150 | 0～150 |
| 工作温度范围 (℃) | -20～80 | -20～80 | -20～80 |
| 外型尺寸 A×C (mm) | 100×90 | 120×110 | 150×140 |
| 外型尺寸 K×J (mm) | 21×24.5 | 21×24.5 | 21×24.5 |
| 运动部分 B×D (mm) | 45×35 | 60×50 | 70×60 |
| 运动部分 E×F (mm) | 37×27 | 50×40 | 60×50 |
| 运动部分 G (mm) | 56 | 68 | 87 |
| 安装尺寸 M×L (mm) | 4.5×8 | 4.5×8 | 4.5×8 |
| 安装尺寸 I | M4 | M4 | M4 |
| 模型下载 | IGS | IGS | IGS |
开环工作台推荐匹配电源型号：HPV-1C0150A0500;闭环工作台推荐匹配电源型号：PPC-1CR0150
