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MPT-1DN/RL010 | MPT-1DN/RL025 | MPT-1DN/RL050 | |
运动自由度 | X | X | X |
行程范围 (μm±10%) | 10 | 25 | 50 |
位移分辨率 (nm) | 1 | 2.5 | 5 |
重复定位精度 (nm) | (nm) -/10 | -/25 | -/50 |
运动方向推力 (N) | 1000 | 1000 | 1000 |
运动方向拉力 (N) | 30 | 70 | 100 |
负载 (Kg) | 2.5 | 2.5 | 1.5 |
固有频率 (Hz) | 1450 | 900 | 400 |
重量 (g±5%) | 200 | 280 | 700 |
工作电压 (V) | 0~150 | 0~150 | 0~150 |
工作温度范围 (℃) | -20~80 | -20~80 | -20~80 |
外型尺寸 A×C (mm) | 60×50 | 80×70 | 100×90 |
外型尺寸 K×J (mm) | 22×24.5 | 22×24.5 | 23×26.5 |
运动部分 B×D (mm) | 30×30 | 45×45 | 70×70 |
运动部分 E×F (mm) | 22×22 | 38×38 | 60×60 |
运动部分 G (mm) | 27.5 | 40 | 48 |
安装尺寸 M×L (mm) | 4.5×8 | 4.5×8 | 4.5×8 |
安装尺寸 I | M4 | M4 | M4 |
模型下载 | IGS | IGS | IGS |
开环工作台推荐匹配电源型号:HPV-1C0150A0500;闭环工作台推荐匹配电源型号:PPC-1CR0150