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| MPT-1EN/RL050 | MPT-1EN/RL100 | MPT-1EN/RL200 | |
| 运动自由度 | X | X | X |
| 行程范围(μm±10%) | 50 | 100 | 200 |
位移分辨率(nm) | 5 | 10 | 20 |
重复定位精度(nm) | -/50 | -/100 | -/200 |
| 运动方向推力(N) | 300 | 300 | 300 |
| 运动方向拉力(N) | 50 | 50 | 50 |
| 负载(Kg) | 1.5 | 1.5 | 1 |
| 固有频率(Hz) | 750 | 450 | 150 |
| 重量(g±5%) | 200 | 350 | 500 |
| 工作电压(V) | 0～150 | 0～150 | 0～150 |
| 工作温度范围(℃) | -20～80 | -20～80 | -20～80 |
| 外型尺寸 A×C(mm) | 75×65 | 90×80 | 110×100 |
| 运动部分 B×D(mm) | 30×24 | 45×37 | 65×53 |
| 运动部分 E (mm) | 47.7 | 55.2 | 65.2 |
| 中空尺寸 F(mm) | 18 | 29 | 41 |
| 外形尺寸 G×H(mm) | 20×21 | 20×21 | 20×21 |
| 安装尺寸 I×J(mm) | 6×3.5 | 6×3.5 | 6×3.5 |
| 安装尺寸 K | M2 | M2.5 | M3 |
| 模型下载 | IGS | IGS | IGS |
开环工作台推荐匹配电源型号：HPV-1C0150A0500;闭环工作台推荐匹配电源型号：PPC-1CR0150
