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| MPT-1SNL080 | MPT-1SNL120 | MPT-1SNL160 | MPT-1SNL400 | MPT-1SRL080 | MPT-1SRL120 | MPT-1SRL160 | MPT-1SRL400 | |
| 运动自由度 | X | X | X | X | X | X | X | X |
| 行程范围 (μm±10%) | 80 | 120 | 160 | 400 | 80 | 120 | 160 | 400 |
| 位移分辨率 (nm) | 8 | 12 | 16 | 40 | 8 | 12 | 16 | 40 |
重复定位精度 | - | - | - | - | 80 | 120 | 160 | 400 |
| 运动方向推力 (N) | 30 | 90 | 120 | 8 | 30 | 90 | 120 | 8 |
| 运动方向拉力 (N) | 5 | 15 | 20 | - | 5 | 15 | 20 | - |
| 运动方向刚度 (N/μm) | 0.6 | 0.6 | 0.6 | 0.02 | 0.6 | 0.6 | 0.6 | 0.02 |
| 重量 (g±5%) | 75 | 100 | 120 | 250 | 75 | 100 | 120 | 250 |
| 工作电压 (V) | 0～150 | 0～150 | 0～150 | 0～150 | 0～150 | 0～150 | 0～150 | 0～150 |
| 工作温度范围 (℃) | -20～80 | -20～80 | -20～80 | -20～80 | -20～80 | -20～80 | -20～80 | -20～80 |
| 外型尺寸 A×B×C (mm) | 34×36.5 | 34×46.5 ×24 | 34×54.5 ×24 | 52×74 ×24 | 34×36.5 ×24 | 34×46.5 ×24 | 34×54.5 ×24 | 52×74 ×24 |
| 安装尺寸 D×E (mm) | 10×12 | 20×12 | 25×12 | 35×12 | 10×12 | 20×12 | 25×12 | 35×12 |
| 安装尺寸 F×G (mm) | 10×10 | 10×10 | 10×10 | 30×10 | 10×10 | 10×10 | 10×10 | 30×10 |
| 安装尺寸 H (mm) | 10 | 10 | 15 | - | 10 | 10 | 15 | - |
| 运动部分 M×N (mm) | 23.7×21 | 25.7×21 | 31.7×21 | 50.2×21 | 23.7×21 | 25.7×21 | 31.7×21 | 50.2×21 |
| 模型下载 | IGS | IGS | IGS | IGS | IGS | IGS | IGS | IGS |
开环工作台推荐匹配电源型号：HPV-1C0150A0500;闭环工作台推荐匹配电源型号：PPC-1CR0150
