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SAL3261GR晶圆对应光学式校准器适用于半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆位置的校准。可用于LED行业蓝宝石晶圆的搬运。
应用设备实例
MOCVD设备；AOI设备
SAL3261GR晶圆对应光学式校准器
规格
| 被搬运物 | SEMI规格 2, 3寸 100～150 mm硅片以及透明晶圆 |
|---|---|
| *缺边 | |
| 位置确定所需时间 | 定位晶圆中心：3 sec |
| 位置精度 | 晶圆中心：±0.2mm以内 晶圆缺边：±0.2度以内 |
| 传感器 | 可视光半导体激光传感器 |
| 晶圆尺寸切换 | 命令控制方式或者通信方式 |
| 洁净度 | ISO标准 Class 2（驱动结构内部独立排气条件下) |
| 动力 | 3轴使用2相步进电机, 电机控制器和脉冲发生器安装在本体内部 |
| 厂务 | 电源：DC24V±10% 3A 真空：优于-53 kPa |
