SSCR3115N3轴圆柱坐标型洁净机械手臂
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北京锐洁机器人科技有限公司
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SSCR3115N3轴圆柱坐标型洁净机械手臂适用于半导体生产设备内部,检测设备以及LED芯片生产设备等的小尺寸晶圆搬运,通过优化机械手臂的空间尺寸,有利于实现设备的小型化。安装有Z轴的小型机械手臂,可用于100 mm以下尺寸晶圆的搬运,通过采用双手指结构显著提高了晶圆搬运效率。
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