伯努利机械手指(接触式)
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北京锐洁机器人科技有限公司
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伯努利机械手指(接触式)针对存在翘曲的晶圆,以及减薄晶圆设计的具有高性价比特点的伯努利原理机械手指可以配套JEL所有类型的大气搬运机械手臂使用可用于6、8、12寸晶圆的非接触式End-Effector,非常适合减薄晶圆,广泛应用于半导体后道工序设备通过使用晶圆样品进行实际的验证传输测试,可以按照客户的需要,针对不同尺寸,翘曲量,晶圆厚度的任意形状的晶圆进行机械手指的定制设计
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