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晶圆等离子清洗机(等离子灰化/去光刻胶/聚合物剥离/预处理/介电质刻蚀/晶圆凸点/有机污染去除/晶圆减薄)
面议X/Y/Z轴式等离子处理系统(等离子清洗)
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面议五轴点胶等离子一体机(精密点胶机,热熔硅胶,自动涂覆机,AB点胶机,自动灌胶机,视觉,在线式,喷射式,螺纹)
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面议
型号 | W50 |
激光类型 | YAG |
激光波长 | 1064nm |
zui大激光输出功率 | 60W |
zui大激光峰值功率 | 8kW |
zui大激光脉冲能量 | 30J/6ms、60J/12ms(选配) |
脉冲宽度 | 0.1-10ms(增加选配电容组,脉宽可达20ms) |
激光频率 | 0.5-20Hz |
波形数量 | 50组 |
闭环反馈控制方式 | 电流反馈控制 |
瞄准定位方式 | 国产显微镜(CCD选配) |
光阀类型 | 液晶光阀 |
冷却方式 | 内置风冷 |
电力需求 | 220V±5%/50Hz/20A |
整机耗电功率 | 3.5kW |
整机重量 | 225kg |
整机外形尺寸(长×宽×高) | 1080mm×560mm×1100mm
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