离心水洗机、离心微尘清洗机、全自动二流体清洗机、硅片 晶圆清洗机、全自动二流体离心清洗机、微尘二流体清洗机、摄像头模组清洗机、芯片二流体清洗机
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二流体清洗:
通过二流体喷嘴特殊的内部结构设计使液体与气体均匀混合,形成高速的喷雾,当从喷嘴中喷射出的喷雾喷射到被清洗物体上时,就会立即崩解并对被清洗物体产生强大的冲击,清洗物体上附着的微小颗粒,在双流体产生的冲击波和膨胀波作用下去除。高速离心脱水:使用清洗盘高速运转产生的离心力和静电消除装置(选装),将被洗工件表面残留水分甩干。
序号 | 参数 | 说明 |
1 | 产品规格 | 长度范围:150-270mm 宽度范围:70-95mm |
2 | 治具规格 | 定制(清洗盘直径680mm) |
3 | 清洗精度 | 清洗0.5μm 及以上的Particle颗粒 |
4 | 清洗良率 | 99.7%以上 |
5 | 整体尺寸 | 1900mm(L)×1455mm(W)×2200mm(H) |
6 | 上料机尺寸 | 600mm(L)×840mm(W)×1490mm(H) |
7 | 清洗机尺寸 | 1300mm(L)×1295mm(W)×2200mm(H) |
8 | 清洗方式 | Plasma(选配)+二流体清洗+高速离心脱水 |
9 | 纯水连接口径 | ø12mm外径软管或PT 1/2″内螺纹 |
10 | 纯水供应 | 压力>0.3Mpa;流量>10L/Min;电阻率>17MΩ |
序号 | 参数 | 说明 |
11 | 纯水消耗量 | 0-8L/Min,正常工作耗水量<120L/h |
12 | 排水出口径 | PT 1″内螺纹 |
13 | 气源入口径 | ø12mm外径软管 |
14 | 气源供应 | 0.4-0.7Mpa;过滤精度:0.01μm;含油量:无油;含水量:压力露点-40℃ |
15 | 气体消耗量 | 100-400L/Min
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16 | 排风口口径 | 2″抽风风速大于3M/Sec |
17 | 排风量 | 强排140m³/H |
18 | 电源供应 | AC380V;50Hz;11Kw |
18 | 耗电量 | 清洗时3.5Kw; 待机时:1Kw |
20 | 离心转速 | 80-2000R/Min |