离心水洗机、离心微尘清洗机、全自动二流体清洗机、硅片 晶圆清洗机、全自动二流体离心清洗机、微尘二流体清洗机、摄像头模组清洗机、芯片二流体清洗机

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2023-02-15 10:20:24
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大族激光科技产业集团股份有限公司

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产品简介

二流体清洗:通过二流体喷嘴特殊的内部结构设计使液体与气体均匀混合,形成高速的喷雾,当从喷嘴中喷射出的喷雾喷射到被清洗物体上时,就会立即崩解并对被清洗物体产生强大的冲击,清洗物体上附着的微小颗粒,在双流体产生的冲击波和膨胀波作用下去除

详细介绍

二流体清洗:

通过二流体喷嘴特殊的内部结构设计使液体与气体均匀混合,形成高速的喷雾,当从喷嘴中喷射出的喷雾喷射到被清洗物体上时,就会立即崩解并对被清洗物体产生强大的冲击,清洗物体上附着的微小颗粒,在双流体产生的冲击波和膨胀波作用下去除。高速离心脱水:使用清洗盘高速运转产生的离心力和静电消除装置(选装),将被洗工件表面残留水分甩干。

特点

技术参数

序号 参数 说明
1 产品规格 长度范围:150-270mm 宽度范围:70-95mm
2 治具规格 定制(清洗盘直径680mm)
3 清洗精度 清洗0.5μm 及以上的Particle颗粒
4 清洗良率 99.7%以上
5 整体尺寸 1900mm(L)×1455mm(W)×2200mm(H)
6 上料机尺寸 600mm(L)×840mm(W)×1490mm(H)
7 清洗机尺寸 1300mm(L)×1295mm(W)×2200mm(H)
8 清洗方式 Plasma(选配)+二流体清洗+高速离心脱水
9 纯水连接口径 ø12mm外径软管或PT 1/2″内螺纹
10 纯水供应 压力>0.3Mpa;流量>10L/Min;电阻率>17MΩ
序号 参数 说明
11 纯水消耗量 0-8L/Min,正常工作耗水量<120L/h
12 排水出口径 PT 1″内螺纹
13 气源入口径 ø12mm外径软管
14 气源供应 0.4-0.7Mpa;过滤精度:0.01μm;含油量:无油;含水量:压力露点-40℃
15 气体消耗量 100-400L/Min

16 排风口口径 2″抽风风速大于3M/Sec
17 排风量 强排140m³/H
18 电源供应 AC380V;50Hz;11Kw
18 耗电量 清洗时3.5Kw; 待机时:1Kw
20 离心转速 80-2000R/Min
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