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生产厂家厂商性质
所在地
工作处理流程 :
自动装载→产品引到真空室→关闭真空室及抽真空度→前处理→真空清洗→产品推出→卸载
电极配置和气体流量 | |
保证良好的气体流动系统及均匀的等离子体生成系统 | |
通过强力排气及消除污染,消除残留物 | |
射频发生器 | |
频率 | 13.56Hz |
输出功率 | 1000W Max |
配备自动匹配系统以大限度地减少反射功率 | |
真空系统 | |
真空干泵/油泵 | |
安全 | |
紧急停止按钮,关闭所有功率和气体流量 | |
射频发生器互锁 | |
室门关闭检测 | |
安全玻璃检查观点 | |
电磁辐射抑制 |