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一维纳米定位台,为一维×向运动压电平台,可进行10~200um范围内的纳米级位置调整。
产品特性:
◆ 高速响应;
◆ 压电陶瓷驱动;
◆ 重复定位精度高;
◆ 纳米级位移分辨率;
◆ 机体材料分铝合金和钛合金;
◆ 具有开环和闭环两种;
◆ 采用数控、线切割等加工工艺。严格保证结构精度;
◆ 采用计算机有限元仿真分析等现代设计方案设计微动结构;
◆ 采用表面处理工艺,提高了适应工作环境的能力。
◆ 纳米级位移分辨率;
◆ 机体材料分铝合金和钛合金;
◆ 具有开环和闭环两种;
◆ 采用数控、线切割等加工工艺。严格保证结构精度;
◆ 采用计算机有限元仿真分析等现代设计方案设计微动结构;
◆ 采用表面处理工艺,提高了适应工作环境的能力。