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二维压电纳米定位台采用机构放大设计原理，柔性铰链连接支撑传动，内部采用高可靠性压电陶瓷驱动，实现X，Y轴200μm的位移，可以配置闭环传感实现高精度扫描与定位。适用于光学扫描。平台可以通过叠加转接的方式实现二维、三维运动。
产品特性
高速响应 压电陶瓷驱动
重复定位精度高 纳米级位移分辨率
机体材料分铝合金和钛合金具有开环和闭环两种
采用数控、线切割等加工工艺,严格保证构结精度
采用计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动结构采用j精进的表面处理工艺,提高了适应不同工作环境的能力
