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压电马达控制器是直线压电马达，内部采用 PZT 压电式驱动，直线运动行程可选6、10、 25、50、100mm，可达亚纳米级分辨率。可选配闭环伺服传感器（增量式编码器），具有更高的定位精度。可选移动台面。
高精度直线压电马达系列是采用压电微驱动技术，即利用压电微位移致动器实现高精度定位和运动的技术，将压电陶瓷在一定电场作用下的微变形量，经过结构转换，输出宏动直线毫米级行程。
● 直线测量有效长度的变化范围为25毫米至105 毫米
● 重达5KG负载的纳米级精度定位
应用领域
■ 有源减振器
■ 工业级精度定位
■ 半导体技术
■ 半导体测试
■ 晶圆检测
■ 平版印刷术
■ 纳米压印
■ 纳米测量
■ 强磁场和真空中运动
