工作原理

两个转子和外壳构成了真空腔室并实现气体压缩，转子以相反的方向向内旋转，这些气室有规则地从泵的入口往出口侧“移动”，这样气体就以低漩流的方式运送出去，实现工艺气体抽气过程

活塞在泵缸内做往复运动，体积大，排气量低且不稳定，真空度低，需要加罗茨泵提高效能。

结构

螺杆真空泵由转子、外壳、齿轮箱、水冷套等部分组成

往复泵由活塞环，气缸，活塞，连杆，皮带轮，皮带等部分组成

使用特性

属单段式排气，在大气压下可连续运转，排气路径短，不会出现反应物沉积，发生卡死现象。

活塞密封往复运动，反应物不易排出，易出现沉积卡死，流量不稳定。

真空度

螺杆式真空泵无论流程气体中蒸气含量多少，都可以保持良好的真空度（吸入工作压力水平：大气压~1Torr）

往复真空泵运转时间长了以后易损件磨损较大，间隙也会变大，真空度逐渐降低，影响工作效率

极限压力

单台螺杆真空泵极限压力：2Pa，高真空意味着提高生产效率和产品质量

单台往复泵极限压力在2200Pa，此压力与活塞环的新旧有关；如果要实现较好的极限真空需要和罗茨泵配合使用

抽气量

抽气量大可达1200立方每小时的抽量，相对抽量范围较宽，且可从大气压到1Torr压力下保持大抽速

抽气范围较宽，曲线从大气压开始波动较大，50Torr以下时往复真空泵的抽速明显下降