·  简介

无油涡旋真空泵是一种新型干式真空泵，它是由涡旋式压缩机演化而来的。其特点：间隙小、泄露小，具有较高的压缩比，在较宽的工作压力范围内有稳定的抽速；工作压力范围宽，由于压缩腔容积的变化是连续的，因而驱动扭矩和功率变化小；动静涡旋形成的工作腔由于是对称的，因而泵的结构简单、零部件少，故工作平稳、振动小、噪音低、工作可靠性高涡旋型线从等界面优化为变截面，使抽除气体的能力大大增强,能在大气压下启动，可直排大气独立工作；对被抽容器无污染。

· 工作原理

无油涡旋真空泵是由泵头、电机、机座等构成。泵头含动、定涡旋盘，曲轴，密封件，风扇和泵壳等。涡旋盘由圆形平面和其上伸出的一条或几条渐开线螺旋盘组成，定涡旋盘和动涡盘的组成涡旋盘复构成无油涡旋真空泵的基本抽气结构。工作过程中动、定涡旋盘无接触，依靠相对运动形成容积不断缩小的新月形压缩腔，通过吸气，压缩，排气的循环，使气体从抽气口吸入，排气口排出，实现对被抽腔体抽真空。

· 性能特点

·抽速：4m³/h到60m³/h；

·高真空：极限真空可达1Pa；

·全无油：不返油，不喷油；

·启停：能在大气压和真空之间频繁启动和关闭；

·安静：低噪音、低振动；

·小巧：体积小、重量轻

·  结构 

结构紧凑，运输方便，真空低。免维护，无污染。

·  应用

分析测试仪器，能谱仪，扫描电镜真空镀膜（PVD、CVD、LPD等）电子束焊接、激光焊接真空炉、单晶炉、烘箱，手套箱、排气台预处理室、样品传输抽真空，He质谱检漏，稀有特殊气体回收在循环，空间环境模拟。