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以螺杆压缩机的工作原理为基础,在泵腔中配置着一对同步高速反向旋转的螺杆转子,电机工作时,使阳转子带动阴转子反向旋转相互啮合而不接触,循环完成吸气→运气→排气,最终使得吸气端气体分子密度下降、真空度上升的真空获得设备。并能与多种真空泵相连成泵组,常用作前级泵。
目前很多螺杆真空泵均采用机械密封,且内部不均匀压缩,多年的应用表明,其机械密封容易过热损坏,尤其是在处理一些腐蚀性介质工况下更容易损坏,导致螺杆泵存在易损件其维修保养相对频繁,而且价格昂贵。