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一、产品用途：
集成电路圆片胶， BPO胶/PI胶/BCB胶固化，IC（晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指纹识别；集成电路圆片快速退火
二、产品特点：
1.一体式人机操作系统，连续式自动化生产，工作效率高，节约人工成本、电能及工艺时间。
2.FEC加热，升温迅速且均匀度好
3.不锈钢材质，表面经物理及化学抛光处理，确保洁净度。
4.自带自清洁功能，可通氢气清洗内腔
三、控制系统
1.人机界面采用触摸屏方式
2.控制器采用嵌入式控制器
3.超温保护为检测器件
4.具有氧含量检测功能
5.运动控制为伺服/步进控制单元
6.传输为专业晶元传输机器人
7.软件具有功能:温度控制,气氛控制,工艺编辑,数据记录,图表显示.
| 设备名称 | 12吋晶圆BUMP烘烤系统全自动高温炉管炉 | ||||
| 处理产品 | 12inch 晶圆 | 处理量 | 50PCS/管，共100PCS | ||
| 加热器 | 温度传感器 | | | ||
| 上料口 | 2个 | 机械手 | 1个/2个 | ||
| 温度范围 | 150°C-400°C | ||||
| 升温速率 | >30℃/min | 降温速率 | >5℃/min | ||
| 加热功率 | 36kW(单炉) | 加热温区 | 2个 | ||
| 人机界面 | 15寸触摸屏 | 门联锁 | 保证工作区安全 | ||
| 温度控制方式 | SSR | 程序控制 | PLC控制 | ||
| 炉膛材料 | 石英玻璃 | 保温材料 | 陶瓷纤维 | ||
| 加热区 | 风门加热区风套 | ||||
| 排气系统 | 自动排气 | ||||
技术细节变动之处，恕不另行通知，具体设备参数以咨询结果为准。
