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VTC-16-D是一款小型直流磁控等离子溅射镀膜仪,其靶头尺寸为2英寸,并且样品台的高度可以调节。此款镀膜仪设计主要是制作一些金属薄膜。
性能指标和基本配置 | ||||||
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特点 | ● 特别为SEM样品镀导电性薄膜设计 | |||||
主要参数 | ● 输入电源:220V AC 50/60Hz | |||||
溅射腔体 | ● 采用石英腔体,尺寸:166 mm OD x 150 mm ID x 150 mm H | |||||
溅射头&样品台 | ● 溅射头可安装靶材直径为2英寸,厚度0.1 - 2.5mm | |||||
真空系统 | ● 安装有KF25真空接口 | |||||
进气 | ● 设备上配1/4英寸进气口,方便连接气瓶 | |||||
靶材 | ● 靶材尺寸要求:Φ50mm×(0.1 - 2.5) mm(厚度) | |||||
各种靶材的参数(仅供参考) | 对于溅射各种金属靶材,需要摸索的溅射参数,下表是本公司实验所设置的参数,欢迎您带料来科晶实验室摸索工艺(仅供参考,详情请点击) | |||||
靶材种类 | 真空度(Pa) | 溅射电流(mA) | 时间(s) | 溅射次数 | ||
Au | 31-33 | 28-30 | 100 | 1 | ||
Ag | 31 | 28 | 100 | 1 | ||
薄膜测厚仪(可选) | 可在本公司选购薄膜测厚仪安装在溅射仪上 | |||||
产品尺寸 | L460 mm × W 330 mm × H 540 mm | |||||
净重 | 20 kg(不包括泵) | |||||
使用注意事项 | ● 有时为了达到理想的薄膜厚度,可能需要多次溅射镀膜 | |||||
警告 | ● 注意:产品内部安装有高压元件,禁止私自拆装,带电移动机体。 | |||||
认证 | CE认证 | |||||
保修期 | 一年保修,终身技术支持。 特别提示: 1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内 点击查看售后服务承诺书。 |