低温等离子净化器在废气处理工程中的应用较为广泛，其主要工艺流程主要由气体收集系统—预处理喷淋洗涤系统—低温等离子净化系统—气体吸附催化系统—排放系统—控制系统气体收集系统六大部分组成。

低温等离子净化器主要是将构筑物自由挥发的气体收集起来并输送到后续处理系统，具体包括气罩系统、管道输送系统和风机。

低温等离子净化器工作原理：

废气处理中洗涤系统用来和废气在洗涤塔内进行预处理化学反应，去处粉尘且通过化学反应后的气体达到废气净化处理，具体包括填料、喷淋装置、脱水层、风机、加药系统等。

低温等离子净化器内部装有的碰吸单元，截留去除废气中的颗粒物质，废气收集系统收集的多元素气体经过等离子活性氧净化装置，在高压等离子电场的作用下，电离初始态氧将其中的废气离子进行电离荷电净化，带电的微小离子(尘埃粒子)被吸附单元所收集并流入和沉积到气体处理装置的储尘箱内，气体内的气体被电场内所产生的臭氧所，并去除了异味，气体被除掉，达到废气处理的目的。

低温等离子体技术处理污染物的原理为：在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子物质，或使物质转变成或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得。作为环境污染处理领域中的一项具有强潜在优势的高，等离子体受到了相关学科界的高度关注。