目前，许多行业都在使用等离子UV光氧一体机，这类设备主要是两种设备的共同体，这两种设备是等离子体废气净化装置和光氧催化废气净化设备，主要结合这两种设备的优点，利用等离子体分解技术和紫外光催化技术对工业废气进行协同净化处理。等离子UV光氧一体机主要具有操作成本低、面积小、无机械作用等优点。

等离子UV光氧一体机的前段主要处理含有油性气体或者烟气，后段主要处理voc废气的气味。

等离子区工作原理：

当废气进入等离子光解一体机净化设备内时，先经过等离子体化学反应过程，即电子先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团;之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。

光氧催化区工作原理：

通过销毁、分解和催化氧化，将污染气体分解成无味的气体。C带光是用来强烈破坏被污染气体的分子链，改变物质的分子结构，分解聚合物污染物并将其氧化成低分子物质，如水和二氧化碳。O₃强催化氧化剂能杀灭，破坏物质，使其转化为低分子物质。激光在C波段激发催化剂涂层产生活性，提高催化氧化能力。在分解过程中，高臭氧紫外线光束分解空气中的氧分子产生自由氧，即活性氧，由于自由氧携带的正负电子不平衡，需要与氧分子结合，从而产生臭氧。O₂≤O-O(活性氧物种)O₂≤O₃(臭氧)。，臭氧对物有的氧化作用。O₃还催化废气氧化制强催化氧化剂，裂解臭气中的分子键，破坏核酸(DNA)，然后被臭氧氧化，达到除臭和杀灭的目的。

对于等离子UV光氧一体机的应用也比较广泛，主要运用在造纸业、制药行业、橡胶轮胎或者橡胶密封条生产车间、垃圾处理、皮革行业、印刷行业、香料生产业、饲料厂及农药生产厂等多个行业中的气体、恶臭和异味的处理，等离子氧一体机对部分行业的净化效率在85%左右，是目前市场上的废气净化设备。