光氧等离子一体机在废气处理工程中的应用较为广泛，其主要工艺流程主要由气体收集系统—预处理喷淋洗涤系统—低温等离子净化系统—气体吸附催化系统—排放系统—控制系统气体收集系统六大部分组成。

光氧等离子一体机主要是将构筑物自由挥发的气体收集起来并输送到后续处理系统，具体包括气罩系统、管道输送系统和风机。

光氧等离子一体机工作原理：

废气处理中洗涤系统用来和废气在洗涤塔内进行预处理化学反应，去处粉尘且通过化学反应后的气体达到废气净化处理，具体包括填料、喷淋装置、脱水层、风机、加药系统等。

低温等离子净化器内部装有的碰吸单元，截留去除废气中的颗粒物质，废气收集系统收集的多元素气体经过等离子活性氧净化装置，在高压等离子电场的作用下，电离初始态氧将其中的废气离子进行电离荷电净化，带电的微小离子(尘埃粒子)被吸附单元所收集并流入和沉积到气体处理装置的储尘箱内，气体内的气体被电场内所产生的臭氧所，并去除了异味，气体被除掉，达到废气处理的目的。

光氧等离子一体机是一种干式废气处理设备。由箱体和装填在箱体内的吸附单元组成，吸附单元根据废气处理要求添加催化剂达到进一步去处异味气体的目的。控制系统主要用来控制系统开机、停运，并对系统运行效果进行检测，反馈系统的运行状态和技术参数，从而使设备处于良好运行状态，实现无人值守。

低温等离子体技术处理污染物的原理为：在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子物质，或使物质转变成或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得。作为环境污染处理领域中的一项具有强潜在优势的高，等离子体受到了相关学科界的高度关注。

低温等离子体技术在废气处理中的应用随着工业经济的发展，石油、制药、油漆、印刷和涂料等行业产生的挥发性废气也日渐增多，这些废气不仅会在大气中停留较长的时间，还会扩散和漂移到较远的地方，给环境带来严重的污染，这些废气吸入人体，直接对人体的健康产生大的危害；另外工业烟气的无控制排放使性的大气环境日益恶化，酸雨(主要来源于工业排放的硫氧化物和氮氧化物)的危害引起了各国的重视。由于大气受污染而酸化，导致了生态环境的破坏，重大灾难频繁发生，给人类造成了巨大损失。因此选择一种经济、可行性强的处理方法势在必行。