高低温探针台晶圆测温系统
时间：2023-08-16 阅读：774
高低温探针台晶圆测温系统
随着航空航天、汽车电子、光伏、工业自动化等许多领域技术的不断发展，芯片在各种jiduan温度环境下的应用也越来越广泛。在芯片的研发生产中，晶圆高低温测试变得越发重要。
探针台作为晶圆测试的关键设备，其工作原理是利用探针台的探针与被测器件上的PAD点精准对针，将测试机输出激励信号进行互通与信号反馈，最终完成测试数据的获取采集。在整个测试过程中，工程师们希望能以最短的时间获取可靠的测试数据，这就需要一套专业的测量系统与解决方案来快速精准地完成晶圆测试工作。
探针台作为晶圆测试的关键设备，其工作原理是利用探针台的探针与被测器件上的PAD点精准对针，将测试机输出激励信号进行互通与信号反馈，最终完成测试数据的获取采集。在整个测试过程中，工程师们希望能以最短的时间获取可靠的测试数据，这就需要一套专业的测量系统与解决方案来快速精准地完成晶圆测试工作。
智测电子晶圆温度测量系统，可用于记录等离子蚀刻工艺环境对真实工艺条件下生产晶圆的影响。 高精度温度传感器能够实现晶圆整体温度监测，这与导体蚀刻工艺的 CD 均匀性控制密切相关。通过测量与产品工艺接近条件下的温度数据，可以帮助工艺工程师完成调整蚀刻工艺条件，验证及匹配腔体、和PM后的验证等工作。
智测电子晶圆温度测量系统，可用于记录等离子蚀刻工艺环境对真实工艺条件下生产晶圆的影响。 高精度温度传感器能够实现晶圆整体温度监测，这与导体蚀刻工艺的 CD 均匀性控制密切相关。通过测量与产品工艺接近条件下的温度数据，可以帮助工艺工程师完成调整蚀刻工艺条件，验证及匹配腔体、和PM后的验证等工作。