实时无线温湿度监测系统在半导体行业洁净室中的问题及解决方案

【面临问题】

微机电、晶圆、芯片等高精尖要求的半导体行业加工精度越精细，对温湿度波动的范围要求越小。如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片，温度上升1℃，就会引起0.24um线性膨胀。在这样的情境下，温度需要准确控制，避免影响产品的质量。

洁净室内温度的影响主要是从产品精度，合格率以及污染的角度（温度升高后，会引起人出汗，汗水会对产品产生污染，特别是怕钠的半导体车间）来考虑的。越精细、集成度高的电子加工，对温度的敏感性越大。

湿度太高会使物体表面的灰尘难以清除，但是相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于物体表面，静电会使半导体器件发生击穿。

按照半导体生产工艺的特点，洁净室一般温度控制在20-25℃，湿度控制在50-60%RH，这个范围不但满足了生产工艺的要求，而且人在这样的环境下也感到舒服。

【解决方案】

实时无线温湿度监测系统：

实时无线温湿度监测系统凭借其高精度、稳定、抗gan扰能力强，低功耗等的特性赢得了客户的青睐。实时无线温湿度记录仪，成为了他们选择的明星款产品。采用组网方式多点监测被测环境里的温湿度分布情况，并利用无线网关进行数据导出分析。这款记录仪很好的满足了客户对仪器高精度、长期稳定、通讯距离远，抗gan扰能力强，低功耗，可以在线连续监测，在测量精度高的同时稳定性强。可以为工作者提供关键控制和监测数据的需求。

【产品特点】

1、测量精度高，稳定性强，设计美观

2、高精密温湿度探头，数据精度高

3、可记录数据，远距离、低功耗、信号更稳定，数据不丢失

4、无线传输 抗*扰能力强

5、多点监测 无线通讯

6、数据秒级上报 预警更及时

7、移动性：不受时间,空间的限制

8、低成本：无线局域网不需要大量的工程,同时节省维护的费用。

实时无线温湿度监测系统在半导体行业洁净室中的问题及解决方案