SMC流量传感器

特点应用:

以制作在白金薄膜中的加热器(Rh)为中心，左右对称配置上游测温传感器(Ru)和下游测温传感器(Rd)，

再加上作为气体测温用的环境温度传感器(Ra)构成本MEMS传感器触点。

原理如右图所示，(a)气体在静止状态时，以Rh为中心加热后的气体温度呈分布均等状态，Ru · Rd同时显示同样的电阻值。

此外.(b)气体由左侧向右侧流动时．被加热的气体温度分布不再对称，Pd的电阻值会变为大于Ru。

由于Ru和Rd电阻值的差与流动气体的流速成比例，因此可测定其电阻值并根据计算处理得知气体的流向和流速(流量)。

Ra用于补偿气体温度或者环境温度。

●微小工件的吸附确认

●重复精度: ± 2% F.S.以下

●响应速度: 5 ms 以下、耐压: 500 kPa

测定流量范围300.0～3.0L/min

类型分离型传感器部

适用流体干燥空气 / N₂

OUT1输出形式模拟电压输出

传感器响应时间0.005 s

配管规格M5X0.8

模拟输出精度±5% F.S.

重复精度±2% F.S.

电源电压DC12～24V±10%

消耗电流16mA以下

可选项-无L型托架

●无润滑脂、对应RoHS

●一个电压监控器即可对应全部量程

●相关元件:真空过滤器ZFC050系列

SMC流量传感器使用安装注意事项

　　1.利用底部4个固定螺丝孔,依现场及机器安装空间设施需要,直接安装或另加保护或其他机械使用.

　　日本SMC传感器安装时,须注意水平角度,亦即尽量使钢索由出线口至移动部位之机构,于工作时水平滑动， 保持小角度(容许偏差+/-30)以确保量测精度及钢索之寿命.

　　日本SMC传感器是不锈钢加涂氟层,请勿让其受外力的割伤﹑烧损﹑撞击等不当之事发生：过量的粉尘﹑积屑或是足以破坏钢索的物品贮留于内部的滑轮或出线口将造成钢索破损,导致运转不顺的故障.

　　日本SMC传感器未安装于工作台或固定坐前,请勿用手或是其它产品将钢索拉出并让其瞬间自行弹回.此举将造成钢索断裂,伤害本体结构及人身安全.

　　日本SMC传感器产品的往复运动的瞬间加速优良不可超过1米/秒;MPS-L和MPS-L-P系列产品的往复运动的瞬间加速优良不可超过0.5米/秒;此举将造成钢索断裂.