软片搬运机器人
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无锡丹佛数控装备机械科技有限公司
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项目 :
- 客户:Cybogragh
- 基本规格
· 工件:200/300mm Wafer
· Tact Time:Within 5.5 秒
· Wafer Pass Line:1,000 mm
· 升降行程:700 mm
· 旋转角度:0~340°
· 臂长:700 mm
· 机械手类型:双
- 主供设备
· 机器人:1 套
· 导轨系统
· 玻璃机械手
· 存放单元
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