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特点
ULVAC KIKO的GLD系列优越型泵具有高性能，低，振动小，噪音低，很多优秀的功能如下所述。天然气，以防止冷凝蒸汽（即水的压载 ） in the pump oil. 在泵油。强迫石油供应机制，有利于维护石油润滑和整个抽速从大气到高真空的范围 。一个反回抽装置保护。低温使泵产生改善真空水平。强制的油过滤器，可以方便地连接以过滤污染物来自石油和石油条件可以使用大，易于水位计检查。
应用
科学和化学实验，分析设备，激光相关的设施 。
•高真空泵系统和支持系统电子显微镜。
•半导体制造系统，溅射系统，真空蒸发系统。
•真空干燥系统，冷冻干燥系统。
