技术中心

　　干式螺杆真空泵是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转，从而产生的吸气和排气作用的一种抽气设备，干式螺杆真空泵可满足用户的多样使用要求。干式螺杆真空泵的两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间有一定间隙，所以当泵工作时，相互之间不会产生磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，所以干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。
 

　　真空系统已经广泛应用于镀膜、光学、化工、医疗器械、核能、航空等科学领域和工业制造领域，真空系统的好坏直接决定着所生产产品的质量、精度和可靠性，科学研究结果的准确性和成功与否。真空获得设备作为真空环境的动力源，相当于真空系统的“心脏”，直接影响着整个真空环境的稳定性、可靠性和其他性能。选择真空获得设备时需要考虑到真空获得设备的适用工况、真空系统的真空度要求以及特殊气体等诸多因素，只有选择合理的真空获得设备才能保证真空系统正常运作。众多真空获得设备中干式真空泵具有环保节能、稳定性高、泵腔内无油、结构紧凑等诸多优点，是真空获得设备中重要的一类。其中干式螺杆真空泵保证泵腔内无油或其他工作介质这一重要特点，解决了大多数真空获得设备正常工作状态下，泵腔内的润滑油脂或其他工作介质由于返流和物理扩散进入所抽容积内，致使真空室受到污染这一现象的发生，被广泛运用于半导体、化工、药品等工业制造领域。
 

　　虽然干式螺杆真空泵的种类越来越多，但是通常的机械真空泵如爪式泵，其抽速难以做大，而且制造难度也大，成本高;另外还有利用多叶级数进行串连的罗茨泵，其缺点与爪式泵相仿。在此种背景下诞生的干式螺杆真空泵则具有了其前辈真空泵类所不具各的很多优点，而这些优点则保证了干式螺杆真空泵的*性及在应用中的优势。
 

　　目前国内外关于干式螺杆真空泵转子型线设计方面的报道很少，主要内容集中于对螺杆真空泵性能的预测与配套装置、材料、加工方法设备、螺杆泵的配件、密封条件等等内容的改进。
 

　　目前由于各国多对自己的干式螺杆真空泵技术进行保密和竞争，而我国在螺杆泵的设计方面仍然有很多具体的细节和技术难题还没有解决，在螺杆泵的设计方面没有达到世界水平。在具体的螺杆泵的加工制造上，局限于我国的生产设备和加工条件，我国生产的螺杆泵自动化程度不高，精度也不高，在一些的螺杆泵上仍不能独立制造。因此中的真空泵仍然主要依赖于进口。
 

　　对于所有类型的真空泵，人们都希望能够将现有的真空泵的物理尺寸尽量减小。但是这一点与真空泵的抽气速率相矛盾。因为真空泵的抽气速率与真空泵的容积成正比，物理尺寸小意味着容积也小。当然还有一个影响真空泵抽气速率的因素，那就是转速。为了使小尺寸的真空泵与大尺寸的真空泵的抽气速率相匹配，就需要提高其转速。而想要提高真空泵的转速可以采用变频器来改变电源的频率或者改变齿轮箱的传动比。前者可以提供一个闭环控制，但是在大负载的情况下容易引起扭矩的损失。而改变齿轮箱的传动比是比较经济的一种方法，但是它只能提供不可控的单一转速。国外目前开发较多的是高转速的真空泵系列。
 

　　当前国内生产的真空获得设备仍然以传统的真空泵为主，主要为水环真空泵、旋片真空泵、蒸汽流泵、滑阀真空泵、罗茨真空泵，且全部用于传统行业。我国生产的干式螺杆真空泵真正用于集成电子电路信息产业的不足1%。相比于日本、欧美等发达国家差距巨大。我国的干式真空泵正处于起步阶段，全国200多家生产真空泵的企业中，能够生产干式真空泵的企业不超过10家，难以形成批量生产。
 

　　国内生产的干式螺杆真空泵大部分应用于实验室、化学、医疗等领域，很少有国产干泵应用于半导体行业。究其原因一方面半导体的生产过程中会产生大量粉尘，处理不好容易造成干泵卡死，尤其刻蚀工艺多用腐蚀性气体，会对干泵内部零件造成腐蚀，造成漏油、毒气泄漏等事故。若干泵故障多发，对半导体集成电路生产造成的损失巨大。国产干泵的可靠性还不能解决上述问题。近年来，随着国内经济转型，半导体电子信息产业在国内的飞速发展，但国内干式螺杆真空泵的发展没有跟上，使该领域成为上干式真空泵工业发达国家的扩张之地。
 

　　国内的半导体集成电路生产线，几乎所有的干式真空泵都是进口泵，进口泵主要来自日本、德国、美国、英国、法国等。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替油封式机械泵，目前干式真空泵的主要型式有爪型、罗茨型、涡旋型、螺杆型和往复活塞式、隔膜式等几种。国内生产的干式真空泵想要进入该领域十分艰难，使得干式螺杆真空泵这个未来真空获得设备的主导产品在国内的处境十分艰难，造成此状况的主要原因是我国干式螺杆真空泵的起步晚，绝大部分市场已经被国外产品占领。国内干式螺杆真空泵除了价格优势，在加工、材料、设计创新都难以与国外品牌竞争。尤其可靠性方面更是与国外同类产品存在差距。