日本Ulvac爱发科|干式真空泵|LR / HR系列

日本Ulvac爱发科|干式真空泵|LR / HR系列

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2016-05-11 07:49:43
2323
产品属性
关闭
上海迈哲电子科技有限公司

上海迈哲电子科技有限公司

中级会员14
收藏

组合推荐相似产品

产品简介

日本Ulvac爱发科|干式真空泵|LR / HR系列

详细介绍

LR / HR系列
在心血管疾病的硬盘过程中,压缩热,这是自己的高温度均匀性技术的有效利用这一干泵系列高耐用性,蚀刻等。
在光的过程,约达70%的电力消耗削减泵上的ECHO - SHOCK的可能。CE标志是可用于所有系列(可选)。
 

特点

LR系列:低温度分布的均匀性。疏散的LL室的*泵除了PVD工艺,减少排气时间是很重要的了吞吐量。
HR系列:高温度分布的均匀性。排气CVD和蚀刻工艺产生的气态的升华,它是可能的。
降噪PDR - 180C:74分贝→LR180:68.5分贝
泵承受功率高达500ms的持续时间中断。
CE标志是可供索阅。
 
应用

激活气体疏散(CVD和蚀刻等)
惰性气体疏散(PVD,蒸发,热处理工艺等)
LL室LR系列排气时间的减少
疏散过程中产生粉末(硅晶体生长炉等气体)
涡轮分子泵和机械增压泵等的前级泵

上一篇:莱宝真空泵有哪些种类,这些您都知道吗? 下一篇:大力发展国产干式螺杆真空泵 逐渐减少对进口的依赖
热线电话 在线询价
提示

请选择您要拨打的电话:

温馨提示

该企业已关闭在线交流功能